The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences (한국전자통신학회논문지)

Korea Institute of Electronic Communication Science (한국전자통신학회)
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Nonlinear Phenomena in MEMS Device

MEMS 소자에서의 비선형 현상

  • 김주완 (전남대학교 대학원 전기 및 반도체공학과) ;
  • 구영덕 (한국과학기술정보연구원) ;
  • 배영철 (전남대학교 전기.전자통신.컴퓨터 공학부)
  • Received : 2012.10.27
  • Accepted : 2012.10.05
  • Published : 2012.10.31
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Abstract

In this paper, we propose the MEMS system with Duffing equation to confirm nonlinear features in MEMS system. We also analyze nonlinear phenomena when adding the nonlinear term of another type. As a verification, we confirm chaotic motion by parameter variation through the time series, phase portrait and power spectrum.

본 논문에서는 MEMS에서 비선형적인 특성을 확인하기 위하여 Duffing 방정식을 가지는 MEMS 시스템을 제안하고 여기에 다른 종류의 비선형 항을 삽입하였을 때의 비선형 현상을 분석하였다. 검증 방법으로 파라미터 변화에 의한 카오스 운동이 있음을 시계열 데이터, 위상 공간, 전력 스펙트럼을 통하여 확인하였다.

Keywords

References

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