プラズマ重合ポリスチレン薄膜誘電特性の機構

電気学会論文誌. A

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205

プラズマ重合ポリスチレン薄膜誘電特性の機構

武田伸一

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ジャーナルフリー

1983 年 103 巻 5 号 p. 272-277

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1972.103.272

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