電子線を用いたCVDによって作製したダイヤモンド薄膜の電気的•物理的諸特性

電気学会論文誌. A

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205

電子線を用いたCVDによって作製したダイヤモンド薄膜の電気的•物理的諸特性

澤邊厚仁

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ジャーナルフリー

1986 年 106 巻 4 号 p. 179-184

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1972.106.179

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