시뮬레이션을 활용한 흐름관점의 반도체 설비관리 기법에 관한 연구

@article{ART001676385},
author={ 심영학 and 이문수 },
title={시뮬레이션을 활용한 흐름관점의 반도체 설비관리 기법에 관한 연구},
journal={로지스틱스연구},
issn={1229-3539},
year={2012},
volume={20},
number={2},
pages={63-74},
doi={10.15735/kls.2012.20.2.005},
url={http://dx.doi.org/10.15735/kls.2012.20.2.005}

TY - JOUR
AU - 심영학
AU - 이문수
TI - 시뮬레이션을 활용한 흐름관점의 반도체 설비관리 기법에 관한 연구
T2 - 로지스틱스연구
PY - 2012
VL - 20
IS - 2
PB - 한국로지스틱스학회
SP - 63-74
SN - 1229-3539
AB - 최근 반도체 산업을 둘러싼 치열한 글로벌 경쟁환경으로 인한 끊임없는 원가혁신 요구로 반도체 메모리공정의 핵심공정인 Photo공정의 활용률(utilization) 극대화를 통한 loss의 최소화에 대한 관심이 높아지고 있다. 이러한 Photo공정설비의 loss분석은 설비 내 발생되는 변동을 시뮬레이션으로 구현하여 동적(dynamic)인 상황에서 발생되는 loss를 예상하고, scanner의 능력을 저해하는 원인을 인지하여 개선안을 적용했을 때의 효과를 예측하는 일련의 체계적인 절차를 통해서만 가능할 것이다. 본 연구에서는 이를 위해 새로운 Flow Balance Analysis(FBA) 기법을 제시하고 이를 활용하여 Photo설비 내 scanner의 능력저해로 인해 발생되는 loss를 최소화하기위한 다양한 개선안을 도출하고 이를 검증함으로써 설비 내부의 웨이퍼 흐름과 관련하여 각 unit들 간의 비 동기화에 의해 발생하는 loss의 근원을 차단할 수 있는 새로운 가능성을 제시하였다.
KW - 반도체 공정, 설비 시뮬레이션, 최적화 기법
DO - 10.15735/kls.2012.20.2.005
UR - http://dx.doi.org/10.15735/kls.2012.20.2.005
ER -

심영학 and 이문수 (2012). 시뮬레이션을 활용한 흐름관점의 반도체 설비관리 기법에 관한 연구. 로지스틱스연구, 20( 2), 63- 74.

심영학 and 이문수 . 2012, “시뮬레이션을 활용한 흐름관점의 반도체 설비관리 기법에 관한 연구”, 로지스틱스연구, vol. 20, no. 2, pp. 63-74. Available from: doi:10.15735/kls.2012.20.2.005

심영학 이문수 et al. “시뮬레이션을 활용한 흐름관점의 반도체 설비관리 기법에 관한 연구” 로지스틱스연구 20.2 pp. 63-74 (2012): 63.

심영학 , 이문수 . 시뮬레이션을 활용한 흐름관점의 반도체 설비관리 기법에 관한 연구 로지스틱스연구 [Internet]. 2012; 20( 2), : 63-74. Available from: doi:10.15735/kls.2012.20.2.005

심영학 and 이문수 . “시뮬레이션을 활용한 흐름관점의 반도체 설비관리 기법에 관한 연구” 로지스틱스연구 20, no.2 (2012): 63-74. doi: 10.15735/kls.2012.20.2.005

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시뮬레이션을 활용한 흐름관점의 반도체 설비관리 기법에 관한 연구

로지스틱스연구

약어 : -

2012, vol.20, no.2, pp.63 - 74

DOI : 10.15735/kls.2012.20.2.005

발행기관 : 한국로지스틱스학회

연구분야 : 경영학

심영학¹ , 이문수²

¹삼성전자

²한국기술교육대학교

인용한 논문 수 : 2 서지 간략 보기

초록

최근 반도체 산업을 둘러싼 치열한 글로벌 경쟁환경으로 인한 끊임없는 원가혁신 요구로 반도체 메모리공정의 핵심공정인 Photo공정의 활용률(utilization) 극대화를 통한 loss의 최소화에 대한 관심이 높아지고 있다. 이러한 Photo공정설비의 loss분석은 설비 내 발생되는 변동을 시뮬레이션으로 구현하여 동적(dynamic)인 상황에서 발생되는 loss를 예상하고, scanner의 능력을 저해하는 원인을 인지하여 개선안을 적용했을 때의 효과를 예측하는 일련의 체계적인 절차를 통해서만 가능할 것이다. 본 연구에서는 이를 위해 새로운 Flow Balance Analysis(FBA) 기법을 제시하고 이를 활용하여 Photo설비 내 scanner의 능력저해로 인해 발생되는 loss를 최소화하기위한 다양한 개선안을 도출하고 이를 검증함으로써 설비 내부의 웨이퍼 흐름과 관련하여 각 unit들 간의 비 동기화에 의해 발생하는 loss의 근원을 차단할 수 있는 새로운 가능성을 제시하였다.

키워드

반도체 공정, 설비 시뮬레이션, 최적화 기법

참고문헌(9)

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[학술지] Gupta, A / 2006 / Job shop scheduling techniques in semiconductor manufacturing / The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 27 (11-12) : 1163 ~ 1169
[학술지] Gupta, A / 2006 / Optimization of due-date objectives in scheduling semiconductor batch manufacturing / International Journal of Machine Tools and Manufacture 49 (12-13) : 1671 ~ 1679
[학술대회] Horn, S. / 2006 / Application of Simulation-Based Scheduling in a Semiconductor Backend Facility / Proceedings of ESTC 2006 - 1st Electronics System integration Technology Conference : 1122 ~ 1126
[학술대회] Jeng, W. D. / 2010 / Scheduling Semiconductor Final Testing a DBR Based Simulation Model / Proceedings of 40th International Conference on Computers and Industrial Engineering: Soft Computing Techniques for Advanced Manufacturing and Service Systems
[학술지] Liu, A. / 2010 / Dynamic Reentrant Scheduling Simulation for Assembly and Test Production Line in Semiconductor Industry / Advanced Materials Research 97-101 (2010) : 2418 ~ 2422
[학술지] Weigert, G. / 2009 / Design and Validation of Heuristic Algorithms for Simulation-Based Scheduling of a Semiconductor Backend Facility / International Journal of Production Research 47 (8) : 2165 ~ 2184
[학술대회] Werner, S. / 2006 / Simulation Based Scheduling System in a Semiconductor Backend Facility / Proceedings of Winter Simulation Conference : 1741 ~ 1748
[학술대회] Tang, C. H. / 2010 / A Scheduling Method in Semiconductor Manufacturing Lines Based on Genetic Algorithm and Simulated Annealing Algorithm / Proceedings of ICINA 2010 - 2010 International Conference on Information, Networking and Automation : 1429 ~ 1432