Multipulseffekte beim Mikro-Materialabtrag von Stahllegierungen mit Pikosekunden- Laserpulsen
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Diss. Reihe Maschinenbau, Band 380
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Abstract
In the present thesis, a model-based method is presented to increase ablation efficiency of picosecond pulsed laser structuring. This method considers multi-pulse effects during laser-based micro structuring and the usage of flat-top beam shaping. For material removal of steel alloys, reasons and effects of pulse number depending ablation behavior called incubation were investigated. The analyzed reduced reflectivity of the substrate surface, which was already processed, represents one reason for decreasing ablation threshold at higher number of laser pulses. The energy penetration depth, which decreases with increasing number of pulses, affects incubation to the same extent. Digital holographic beam shaping by means of a liquid-crystal-on-silicon based spatial light modulator was investigated, aiming at the flexible adaption of the spatial intensity distribution. It has been shown, that the shaped homogeneous flat-top profile can be simulated when aberrations of the optical setup are considered and the range of spatial frequencies during beam shaping is enlarged. The geometry of the generated micro features was calculated by the presented model, which is based on the simulation of the intensity profile and the analyzed multi-pulse effects. For this purpose, pulse number depending variation and saturation of the ablation threshold as well as the energy penetration depth were implemented within the model.
Abstract
In der vorliegenden Arbeit wird eine Methode zur modellbasierten Steigerung der Abtragseffizienz vorgestellt, die auf der Kenntnis von Multipulseffekten bei der Laserstrukturierung basiert und die Strahlformung von Flat-Top-Profilen nutzt. Die Ursachen und Auswirkungen von Multipulseffekten der Inkubation, d. h. der Pulszahlabhängigkeit des Abtragsverhaltens, wurden für den Mikro-Materialabtrag von Stählen untersucht. Die gemessene Abnahme der pulszahlabhängigen Reflektivität der strukturierten Substratoberfläche wurde als eine Ursache der mit steigender Pulszahl sinkenden Abtragsschwellfluenz identifiziert. Als zweite Ursache beeinflusst die mit steigender Pulszahl sinkende Energieeindringtiefe die Inkubation. Mit dem Ziel der flexiblen Erzeugung der räumlichen Intensitätsverteilung wurde die digitale holografische Strahlformung mittels eines Flüssigkristall-basierten räumlichen Lichtmodulators untersucht. Die erzeugten Flat-Top-Strahlprofile können unter Berücksichtigung der systembedingten Aberrationen und der Vergrößerung des Frequenzbereichs simuliert werden. Basierend auf der Simulation des Strahlprofils und der Kenntnis der Auswirkung der Multipulseffekte auf den Materialabtrag wurde die Strukturgeometrie als Abtragsergebnis modelliert. Dafür wurden erstmalig die pulszahlabhängige Schwellfluenz und Eindringtiefe einschließlich ihres Sättigungsverhaltens als experimentell ermittelte Materialparameter berücksichtigt.