Abstract
The different stages of the polishing process of polycrystalline tungsten samples were investigated by scanning electron microscopy of both the sample surface and of cross-sections prepared with the help of a focused ion beam. It is shown that a distortion layer is present at the sample surface after mechanical fine grinding and even after polishing with diamond suspension, although the sample has a mirror-like finish. A sufficiently long chemo-mechanical polishing step using an alkaline colloidal silica suspension was able to remove this distortion layer. Although electropolishing produced an even smoother surface, the microstructure quality after chemo-mechanical polishing is comparable to that of an electropolished sample.
Kurzfassung
Mittels Rasterelektronenmikroskopie wurden die verschiedenen Stufen des Poliervorgangs für polykristalline Wolframproben sowohl für die Probenoberfläche als auch die mit Hilfe eines fokussierten Ionenstrahls präparierten Querschnitte untersucht. Nach mechanischem Feinschleifen und sogar nach dem Polieren mit Diamantsuspension ist eine Verformungsschicht auf der Probenoberfläche sichtbar, obwohl die Probe spiegelblank poliert wurde. Durch einen ausreichend langen chemisch-mechanischen Polierschritt unter Verwendung einer alkalischen kolloidalen Kieselsäuresuspension konnte diese Verformungsschicht entfernt werden. Auch wenn eine Elektropolitur eine noch glattere Oberfläche hervorbrachte, ist die Qualität der Mikrostruktur nach dem chemisch-mechanischen Polieren vergleichbar mit der einer elektropolierten Probe.
References/Literatur
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